技术规格 (标准配置）

目镜

高眼点大视野无放大率色差平场目镜PL10X/25mm 视度调节±5视度

无限远半复消色差金相物镜（齐焦距离45mm，管镜焦距200mm，螺纹外径M32）

IM-12BTR/

IM-12BTR-DHIC

5X/0.15  工作距离：15 mm

10X/0.25  工作距离：20.2 mm

20X/0.50  工作距离：3.4 mm

50X/0.75  工作距离：2.0 mm

IM-12BDTR/

IM-12BDTR-DHIC

5X/0.15BD  工作距离：8.9mm

10X/0.25BD  工作距离：16 mm

20X/0.50BD  工作距离：2.3 mm

50X/0.75BD  工作距离：1.5 mm

目镜筒

无限远水平延长式正像观察头，目视仰角固定式，倾斜20°, 瞳距调节范围55~75mm.   

定位微分干涉模组

IM-12BTR-DHIC/

IM-12BDTR-DHIC

数字微分模组：液晶剪切元件，X/Y轴剪切量0~4μm或XY轴0~10μm（等距/非等距可调），剪切精度±10nm，相位测量精度0.05rad（5nm@λ=633nm），配套相位算法分析软件；系统横向分辨率≥300nm、纵向分辨率≥2nm、相位测量精度≥5nm；

调焦机构

粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置, 微动格值:0.7μm.

转换器

六孔(内向式滚珠内定位)  重复定位偏差小于0.015mm

载物台

XY轴水平平移，行程305×305mm带离合器手柄，可用于全行程范围内的快速移动；Z轴调焦范围0~35mm

320X300mm玻璃台面板

照明系统

反射式柯勒照明方式

10WLED 亮度可调，配置360°旋转起偏器、检偏器、视场光阑、孔径光阑、滤色镜。

透射式柯勒照明方式

10WLED 亮度可调，配置360°旋转起偏器、检偏器、孔径光阑、滤色镜，聚光镜组可上下升降

CCD接头

1X